Fotolitografija je proces koji se koristi u mikrofabrikaciji za prijenos geometrijskih uzoraka na film ili podlogu. Geometrijski oblici i uzorci na poluvodiču čine složene strukture koje omogućuju dodacima, električnim svojstvima i žicama da dovrše krug i ispune tehnološku svrhu.
Što je proces fotolitografije?
Fotolitografija, također nazvana optička litografija ili UV litografija, je proces koji se koristi u mikroproizvodnji za izradu uzoraka dijelova na tankom filmu ili većem dijelu supstrata (koji se također naziva oblata). … U složenim integriranim krugovima, CMOS pločica može proći fotolitografski ciklus čak 50 puta.
Kakvi su procesi mikrofabrikacije?
Mikrofabrikacija je proces izrade minijaturnih struktura mikrometarskih mjerila i manjih. … Glavni koncepti i principi mikrofabrikacije su mikrolitografija, doping, tanki filmovi, jetkanje, lijepljenje i poliranje.
Što je proces litografije u poluvodičima?
Poluvodički litografski sustav poduzima proces u kojem se vrlo složeni obrasci krugova nacrtani na fotomaski napravljenoj od velike staklene ploče smanjuju pomoću leća ultra visokih performansi i izlažu na silikonsku podlogu poznatu kaooblatnu. …
Što je litografija u procesu izrade?
Litografija jeproces prijenosa uzoraka geometrijskih oblika u maski na tanak sloj materijala osjetljivog na zračenje (koji se naziva otpor) koji prekriva površinu poluvodičke pločice. Slika 5.1 shematski ilustrira litografski proces korišten u proizvodnji IC-a.
