Fotolitografija se obično koristi za proizvodnju računalnih čipova. Prilikom proizvodnje računalnih čipova, materijal supstrata je rezistentna ploča od silicija. Ovaj proces omogućuje istovremenu izradu stotina čipova na jednoj silikonskoj pločici.
Kako se radi fotolitografija?
Fotolitografija koristi tri osnovna koraka procesa za prijenos uzorka s maske na oblatnu: premazati, razviti, izložiti. Uzorak se prenosi u površinski sloj oblatne tijekom naknadnog procesa. U nekim slučajevima, uzorak otpornosti također se može koristiti za definiranje uzorka za taloženi tanki film.
Zašto se zove fotolitografija?
Poluvodička litografija (fotolitografija) - Osnovni proces . Proizvodnja integriranog kruga (IC) zahtijeva niz fizičkih i kemijskih procesa koji se izvode na poluvodičkoj (npr. silicijskoj) podlozi. … Riječ litografija dolazi od grčkog lithos, što znači kamenje, i graphia, što znači pisati.
Zašto je litografija važna?
Litografija je proces prijenosa uzoraka geometrijskih oblika u maski na tanak sloj materijala osjetljivog na zračenje (koji se naziva otpor) koji prekriva površinu poluvodičke pločice. Slika 5.1 shematski ilustrira litografski proces korišten u proizvodnji IC-a.
Koja je metoda najčešće korištena u litografskim metodama?
Optičkilitografija je tehnika zasnovana na fotonima koja se sastoji od projiciranja slike u fotoosjetljivu emulziju (fotorezist) premazanu na podlogu kao što je silikonska pločica. To je najrašireniji litografski proces u proizvodnji nanoelektronike velikih količina u industriji poluvodiča.
