U slučaju poluvodičke litografije (koja se naziva i fotolitografija) naše kamenje su silicij pločice, a naši uzorci su ispisani polimerom osjetljivim na svjetlo zvanim fotorezist.
Što mislite pod fotolitografijom?
fotolitografija, također nazvana optička litografija ili UV litografija, je proces koji se koristi u mikroproizvodnji za izradu uzoraka dijelova na tankom filmu ili većem dijelu supstrata (također se zove oblata). … Ova metoda može stvoriti iznimno male uzorke, veličine do nekoliko desetaka nanometara.
Zašto se litografija koristi u proizvodnji poluvodiča?
Fotolitografija je proces koji se koristi u mikrofabrikaciji za prijenos geometrijskih uzoraka na film ili podlogu. Geometrijski oblici i uzorci na poluvodiču čine složene strukture koje omogućuju dodacima, električnim svojstvima i žicama da dovrše krug i ispune tehnološku svrhu.
Koja je svrha fotolitografije?
Fotolitografija je jedna od najvažnijih i najjednostavnijih metoda mikrofabrikacije i koristi se za stvaranje detaljnih uzoraka u materijalu. U ovoj metodi, oblik ili uzorak može se urezati selektivnim izlaganjem polimera osjetljivog na svjetlost ultraljubičastom svjetlu.
Što je oprema za poluvodičku litografiju?
Oprema za poluvodičku litografiju koristi se u fazi izlaganja poluvodičkog čipaproizvodni proces. … Oprema za poluvodičku litografiju koristi projekcijsku leću da smanji uzorak strujnog kruga, koji je napisan na originalnoj pločici zvanoj končanica, i izloži uzorak na pločicu.
